%0 Conference Proceedings
%4 sid.inpe.br/mtc-m21b/2016/10.27.11.43
%2 sid.inpe.br/mtc-m21b/2016/10.27.11.43.32
%T Production and control of hollow cathode and high voltage glow discharge plasmas for ion implantation and deposition inside metallic tubes
%D 2016
%A Ueda, Mário,
%A Silva, Carla da,
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@affiliation Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
%@electronicmailaddress mario.ueda@inpe.br
%@electronicmailaddress carla.silva@inpe.br
%B Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência, 38 (CBrAVIC)
%C Bauru, SP
%8 09-12 out.
%@language en